燒結(jié)是氮化鋁多層基板產(chǎn)品非常重要的工藝，在這個(gè)過程中產(chǎn)品由生瓷通過高溫收縮成熟瓷，對(duì)于尺寸精度而言這個(gè)階段會(huì)影響產(chǎn)品的平整性及絕對(duì)尺寸，燒結(jié)曲線與燒結(jié)參數(shù)的穩(wěn)定性是關(guān)鍵因素［９］。 在成瓷階段，由于多層產(chǎn)品本身的結(jié)構(gòu)復(fù)雜存在多重的不對(duì)稱性，在收縮的過程中各個(gè)方向所受應(yīng)力不盡相同；同時(shí)，金屬化與陶瓷的收縮溫度段及收縮率也不相同，產(chǎn)品內(nèi)部金屬化也分布各異，造成各個(gè)區(qū)域應(yīng)力分布不同。